当今的模拟和功率半导体技术（包括 GaN 和 SiC）要求进行参数测试，以便最大限度提高测量性能、支持广泛的产品组合以及最大限度降低测试成本。40 多年来，吉时利已经在关键应用中解决了这些问题以及其他重要挑战，这些应用包括工艺整合、工艺控制监控、生产芯片分类（例如，晶片验收或已知的良好芯片测试），以及可靠性。

带有 KTE 7 软件的吉时利 S530 系列参数测试系统提供高速、完全灵活的配置，能够随着新应用的出现和需求变化而不断发展。S530 可进行高达 200 V 的测试，而 S530-HV 可以在任何引脚上进行高达 1100 V 的测试，与竞争解决方案相比，吞吐量提高了 50%。KTE 7 的新增功能是促成直接对接探测器和原有探头卡重新使用的可选系统测试头，支持汽车标准 IATF-16949 要求的系统级 ISO-17025 引脚校准，以及从原有的 S600 和 S400 系统进行迁移的最简单、最顺畅的路径，具有完整的数据关联性并提高了速度。

S530 功能

• 灵活的探测器接口选项，包括测试头，支持原有吉时利和 Keysight 装置
• 行业标准的 KTE 软件环境
• 触摸一次探头即可完成高压和低压参数的测试
• 通过全新系统参考单元 (SRU) 进行全自动系统级校准符合最新质量标准
• KTE 7 中的运行状况检查软件工具最大限度地延长系统正常运行时间和提高数据完整性
• 内置的瞬态过电压和/或过电流事件保护可最大程度地减少代价高昂的系统停机或对晶片造成损坏
• 符合 ISO-17025 校准要求并支持 IATF-16949 合规性
• 提供 SECS/GEM 与 300 毫米晶圆厂的集成